该成果由国家自然科学基金科学仪器专项基金项目资助，项目编号:50927502，项目起止年月：2010年1月至2012年12月，总经费120万。该项目已于2013年在国家自然科学基金委的会议主持下完成答辩验收。  

该项目由我院和华中科技大学机械工程学院合作，研制了一台多功能的显微图像测量仪，具有如下功能：（1）可获取高倍大面积无痕拼接图像并测量；（2）可获取高倍大面积三维显微图形并测量；（3）可获取纳米三维图形并测量；（4）振动测量。仪器的图像测量面积为50*50mm，X、Y最高分辨率为1nm，Z向最高分辨率为0.1nm。仪器最主要的创新点是：由一个测量显微镜基体派生出多种测量功能。它与在仪器上安装不同原理传感器而获取多功能的显微镜有本质上的不同。仪器可用于非接触测量也可用于接触测量；可进行工程表面的测量，也可进行纳米表面的测量，可进行单幅图像测量，也可进行大面积无痕拼接及测量，仪器可用于IT、MEMS、医学、生物工程、光学、超精加工，材料学等领域的基础研究，同时也可广泛用于工业生产。  

                                 图  仪器原理图及实验装置实物图